915MHZ CVD反应器 | ||||||||
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房间 | 反应室类型 | 气缸 | 内容 | AI / SS | 真空密封 | 硅谷威顿 | 冷水的水ं | 是的 |
真空系统 | 具体操作压力范围,Tor | L-30kf | 基础压力,托 | 10-200 | 真空泄漏完整性,Torr / sec | <3*10^-5 | 真空泵 | 碳氢化合物 |
真空过滤器 | 是的 | Turbo空缺 | 可选 | |||||
微波发生器 | 微波频率 | 951MHZ | 微波输出功率 | 3-25KW | 阻抗匹配(调谐器类型,自动等) | 指南 | 安全 | 是的 |
反射功率微波探测器 | 是的 | 结霜水 | 预期 | |||||
基板阶段 | 基材材料 | 钼 | 舞台素材 | SHS | 冷却 | 水很冷 | 热 | 不 |
舞台大小 | 85mm - 230mm | 基板支架 | 钼 | 沉积区 | 100mm-200mm | 手动高度变化 | 指南 | |
自动z轴速度 | 食谱诱导 | |||||||
工艺气体 | #1,H2 Sscm? | 2000或选择用户 | #2,CH4 sscm? | 选择400或用户 | #3,?? | 选择用户 | #4 | 选择用户 |
清除端口 | 是的 | 质量流量调节器 | 4(标准)或更多可选 | |||||
冷却系统 | 酷型 | 水 | 水型 | 蒸馏 | 冷水温度 | 高于露点 | ||
电子和软件 | 屏幕 | 触摸屏 | UPS | 可选 | 自动控制驱动的控制系统,具有基于运行的数据收集和安全互锁 | 是的 | 附加软件,过程控制等 | 远程监控/控制 |
供电系统 | 紧急停止按钮 | 是的 | ||||||
控制温度 | 换热器 | 1 | ||||||
增长率 | 单晶钻石 | 10至30微米 | ||||||
替代 | 电机驱动的玉石与高精度步进电机 | 是的 | H2发电机 | 根据要求 | H2钯Finder | 根据要求 | DI净水器 | 根据要求 |