Микроволновая плазма 915 MHZ
CVD Реактор Оптимизирован для
Рост монокристаллического алмаза
cvd-reactor-915MHZ
Химическое осаждение из паровой фазы
पТип IIA Монокристаллический &
Поликристаллические алмазы
Медицинские Приложения
  • Скальпели - хирургия глаза и лазерная коагуляция
  • Ножи - Ультрамикротом
  • Сверхточный инструмент для фрезерования интраокулярных линз
  • Фармацевтика - Очистка воды
  • Рамэн Лазер - Окно
  • CO2 Laser - Окно
  • Радиационная Дозиметрия
  • Датчик для магнитокардиографии
  • Флуоресцентная визуализация
  • Медицинские нано алмазы
  • Протезирование конечностей
  • Очистка воды - дезинфекция в несколько этапов(Тугоплавкие химические электроды)
оптика
  • Лазерные окна
  • Инфракрасные окна
  • линзы
  • Рентгеновские окна
  • Блоки ATR
промышленные
  • Нефтяные и газовые буровые долота
  • Точная обработка
  • Износостойкость
  • Деревообработка
  • Шлифовка и полировка
  • Общее машиностроение
  • Обслуживание дорог
  • Обработка камня и бетона
  • Горное дело, туннелирование и бурение
  • Алмазные композитные материалы для промышленного использования
Полупроводники
  • радиолокационный
  • Спутники связи
  • Диоды
  • Выключатели
  • Ultra Pure CVD с использованием азотных вакансий для квантовых
  • вычислительных устройств Башни сотовой связи
  • РЧ-усилители
semiconductors
Полупроводники
  • радиолокационный
  • Спутники связи
optics
оптика
  • Лазерные окна
  • Инфракрасные окна
  • линзы
  • Рентгеновские окна
  • Блоки ATR
thermal
термический
  • Распределители тепла
  • Лазерное вспомогательное крепление
  • Рентгеновское вспомогательное крепление
industrial
промышленные
  • Нефтяные и газовые буровые долота
  • Точная обработка
  • Износостойкость
purification
Очистка воды
  • Электроды для очистки воды
sensors
датчиков
  • Радиационные датчики
  • Флуоресцентные мониторы
  • Детекторы ионизирующего излучения
quantum
Квантовые вычисления
  • Для быстрой обработки данных и безопасного общения
medical
медицинская
  • Радиационные детекторы для лечения рака глаз
  • Хирургический скальпель
  • Медицинские нано алмазы
915 МГц CVD РЕАКТОР
камера Тип камеры реактора цилиндр материал AI / SS Вакуумные уплотнения Витон, Силикон Водяное охлаждение стен да
Вакуумная система Типичная рабочая Диапазон давления, Торр 1-30kPa Базовое давление, Торр 10-200 Вакуумная герметичность, Торр / сек <3*10^-5 Вакуумный насос углеводород
Вакуумный фильтр да Turbo Vac Необязательный
Микроволновый генератор Микроволновая частота 915MHz Микроволновая Выходная Мощность 3-25KW Сопротивление импеданса (тип тюнера, автоматический и т. Д.) Руководство защита да
СВЧ детектор отраженной мощности да Водяное охлаждение необходимые
Стадия основания Материал основания Moly Материал сцены SS охлажденный С водяным охлаждением Подогреваемый нет
Размер сцены 85 мм - 230 мм Держатель подложки Moly Площадь осаждения 100мм-200мм Ручное изменение высоты Руководство
Автоматическое движение по оси Z Рецепт ведомый
Технологические газы # 1, H2 SSCM? 2000 или выбор пользователя # 2, CH4 SSCM? 400 или выбор пользователя № 3, ?? Выбор пользователя # 4 Выбор пользователя
Порт продувки да Регуляторы массового расхода 4 (стандарт) или более дополнительно
Система охлаждения Тип охлаждения вода Тип воды дистиллированный Температура охлаждающей воды Выше точки росы
Электроника и программное обеспечение экран Сенсорный экран UPS Необязательный Автоматическая система управления, основанная на рецептах, со сбором данных и защитными блокировками. да Дополнительное программное обеспечение, управление процессом и т. Д. Удаленный мониторинг / контроль
Система питания Кнопка аварийного останова да
Контроль температуры Пирометр один
Скорость роста Для монокристаллического алмаза От 10 до 30 микрон
ОПЦИИ Z с приводом от двигателя с высокоточным шаговым двигателем да Генератор H2 По запросу Очиститель палладия H2 По запросу DI Очиститель воды По запросу